ESD法の機械学習による安定化

Electro-Spray Deposition (ESD) 法は、ナノサイズの微細なスプレーを高電圧により生成し様々な薄膜を成膜する方法です。本研究室では、液晶ディスプレイ用の配向膜成膜や、リチウムイオン電池向けの活性層の成膜に応用する手法を提案してきました。ESD法の一般的な欠点として、スプレーの安定化すると大きな液滴が飛んでしまい、膜が不均一担ってしまうことがあります。我々は、スプレーの様子をカメラで撮影し、機械学習で評価することで適切なスプレーパラメーターをフィードバックするシステムの検討を行っています。